ワクチン瓶検査実例

半導体産業におけるマシンビジョンの応用

マシンビジョンは半導体への応用が20年前から始まっている，半導体、電子設備市場はマシンビジョン技術の発祥地であり、マシンビジョンが生き残る巨大な市場の一つとなってきた，半導体・電子製造業は技術的に飛躍するごとに、ウエハーが大きくなり、内部回路が細くなり、超細ピッチデバイスへと進む。コネクターが小型化し、1分あたりの生産ラインで測定する装置数が増えていくと、新たな半導体やエレクトロニクスの製造装置が誕生する。それに伴い、新たな品質保証システムが誕生し、その生産性と不良品率を改善し、さらにマシンビジョン市場が絶えず発展・拡大することを促すだろう。マシンビジョン技術自体も、半導体、エレクトロニクス、光学、オートメーションなどの技術の発展とともに進化してきた。

半導体におけるマシンビジョンの応用は何でしょうか?LOTSのエンジニアは豊富な解決方案の経験を通して、半導体でどんな技術の突破をマシンビジョンに応用する必要があるかを皆さんに紹介する。

※表面識別検査
※測定/測位
※分類選別

表面識別検査
半導体業界では、製品の制御性を維持するためにすべての素子に識別コードがあり、識別コードによって多くの判断ができ、多くの情報が得られる。半導体表面文字、IDコード、二次元コード、マークポイントなどでマシンビジョンは十分に機能する。

もちろん表面については認識内容だけでなく,精度の高い製品ほどワーク自体の欠陥に対する耐性が小さい。表面欠陥判定は業界にも欠かせない。

ウエハー文字認識

実物図

効果図(一)

効果図(二)

特徴：
1、ウエハ反射面に同軸照明で均一に結像
2、輝度が高く、二次元コードや文字の特徴にも対応
3、同軸照明は光路が垂直性が良く、表面検査に有利です

ウエハー表面傷

実物図

効果図

特徴：
1、ウエハー表面は欠陥方向が多様化し、表面をスクラブする。リングの低角度が各方向の欠陥を浮き彫りにする
2、高密度LEDアレイで高輝度
3、設定簡単

測定/測位
測定/測位が不正確な場合多くのウエハが破損し、ビジョンシステムは半導体装置会社のサポートコストを大幅に増加させるが、ビジョンシステム全体の当然のイメージの効果に影響を与える。

LOTSには半導体ウエハーの検出スキームを提供する専門チームがあり、視覚効果の問題による測定/測位のズレを回避する。半導体業界で長年の経験により、半導体製造プロセス全体における装置性能の信頼性を確保。

ウエハー測位